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能源研究所
能源与动力工程学院
靶材均匀利用，无沟道效应，保证化学成分均匀
等离子密度高，溅射速率快，应力可调节，实现零应力成膜
柔性制造，低温高质量成膜，导向方便，可用于3D复杂衬底
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